仕様
DST2-TG グローブボックス用スパッタコーター熱蒸発装置 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H600 × W550 × D600 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 120 Kg(ポンプ、ラック、計器ケース) |
| 電源 | 220-110 V、50/60 HZ – 4.5 kW |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| パイレックスシリンダー チャンバー | 外径300mm×高さ200～250mm |
| 到達真空度 | 8 x 10-6 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートからプロセスデータをPCに転送可能 |
| 本体サイズ ( H x W x D ) | H600 × W550 × D600 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 120 Kg(ポンプ、ラック、計器ケース) |
| 電源 | 220-110 V、50/60 HZ – 4.5 kW |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| パイレックスシリンダー チャンバー | 外径300mm×高さ200～250mm |
| 到達真空度 | 8 x 10-6 Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートからプロセスデータをPCに転送可能 |
