グローブボックス用スパッタコーター熱蒸着装置(DST2-TG)
Wi-Fi 接続によるリモートシステム制御で、幅広い材料の蒸着に
- 2段ロータリーベーンバックアップポンプ
- 高真空内蔵ターボポンプ90 l/s
- 大型の試料の堆積に適した大型チャンバー（直径300 mm、高さ20〜25 cm）
- 真空チャンバーを上下するリフトアーム
- リアルタイムの厚さ測定用の2つの水晶センサー（精度1nm）
- 2年間の保証
- CE適合性
サンプル蒸着実験に適した材料蒸着器
グローブボックス用スパッタコーター熱蒸着装置(DST2-TG) は、グローブ ボックス用の熱蒸着器を備えたダブル ターゲットターボポンプ スパッタコーターで、熱蒸着器とスパッタ コーターを1つのコンパクトなデスクトップシステムに統合したマルチ真空コーター システムです。Wi-Fi 接続によるリモート システム制御が可能で、タッチ スクリーンと PC の両方で制御できます。
幅広い材料の蒸着に適しています。ダブルマグネトロンターゲットデスクスパッタコーターは、 多層コーティングの準備のために、蒸着 と スパッタリング蒸着を簡単に切り替えることができます。
グローブ ボックス システム
グローブ ボックス システムは、敏感な材料を保護する環境を提供し、空気や湿気との接触や望ましくない相互作用を防ぎます。
グローブ ボックスを備えた DST2-TG 高真空コーティング システムは、高真空条件下での高純度の薄層堆積に貢献する便利なチャンバー環境と、不活性ガス雰囲気下での安全な基板処理を提供します。
選択可能なオプション機能
【RF電源】
RFスパッタリングプロセスにおける反射電力を
最小限に抑える自動調整マッチングボックスを
備えたRF電源
【プラズマクリーナー】
薄膜堆積前に基板表面から
有機物を除去するためのプラズマクリーナー
長時間の蒸着
大型チャンバー (直径 300 mm) と 2 インチ径の水冷カソード 2基を備えた高精度の半自動/全自動真空コーティング システムで、長時間の蒸着に適しています。
半導体、誘電体、金属をスパッタリングできます。スパッタリング カソードと熱蒸着ボートは一緒に取り付けることも、交換して取り付けることもできます。カーボンファイバーを使用することで、カーボン蒸着も可能になります。
クリーンバキューム
内部に 90 L/s ターボ分子ポンプが取り付けられており、6 m 3 /h の 2 段ロータリー ベーン ポンプがバックアップされています。
グローブ ボックス搭載のDST2-TG は、高純度の薄層堆積のための極めて制御可能なチャンバー環境を提供し、グローブ ボックス内の不活性ガス雰囲気下での堆積プロセスの前後に安全でクリーンなサンプル処理を実現します。
カラータッチスクリーンコントロール
真空およびコーティング シーケンス情報は、は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
パネル ウィンドウは、Wi-Fi 接続を介してPC でも利用できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。
