仕様
DSR1 高性能スパッタコーター 仕様
| 本体サイズ ( H x W x D ) | 450 × 500 × 370 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 42 Kg（真空ポンプ付属） |
| 電源 | 220 – 240 V、50 / 60 HZ、10 A、80 W DCスイッチング電源 |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| 蒸着源数 | 1 |
| 到達真空度 | 40 mTorr 未満 |
| PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
| 本体サイズ ( H x W x D ) | 450 × 500 × 370 (mm) |
|---|---|
| 重量 | 42 Kg（真空ポンプ付属） |
| 電源 | 220 – 240 V、50 / 60 HZ、10 A、80 W DCスイッチング電源 |
| 高精度膜厚モニター | ○ |
| 蒸着源数 | 1 |
| 到達真空度 | 40 mTorr 未満 |
| PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
