デスクスパッタ＆カーボンコーター(DSCR-300)
大型の試料に非酸化ターゲットを堆積
- 2段式直動ロータリーベーンポンプ 6 m3 /h
- 1 nmの精度と1 Åの分解能を備えた水晶厚さモニター
- スパッタリング用80W DCスイッチング電源
- 炭素繊維蒸着用0-25AパルスDC電源
- 2年間の保証
- CE適合性
マイクロおよびナノエレクトロニクスやSEM サンプルの準備などの薄膜アプリケーション用に
デスクスパッタ＆カーボンコーター(DSCR-300)は、3 インチまたは 4 インチの水冷式マグネトロンカソードを備え、スパッタとカーボンコーティングの両方に使用できるコンパクトなコーティングシステムです。このシステムは、大型の試料に非酸化ターゲットを堆積するのに適しています。
水冷式マグネトロンにより、スパッタリング時間が長くなり、厚い層や薄い層の堆積に適しています。
DSCR-300を使用すことで、マイクロおよびナノエレクトロニクスやSEM サンプルの準備などの薄膜アプリケーション用にさまざまな基板に堆積できます。
また、金 (Au)、パラジウム (Pd)、白金 (Pt)、金/パラジウム (Au/Pd) などの貴金属 を非導電性または導電性の低いサンプルにスパッタすることもできます。さらに、薄い炭素膜でコーティングされたナノ構造の試料は、FE-SEM、TEM、EDXなどのさまざまな技術で特性評価できます。
簡単かつ正確で繰り返し可能なパフォーマンス
3インチマグネトロンでは直径12cmまでのサンプルを均一にコーティングすることができ、4インチマグネトロンでは直径15cm程度のサンプルをコーティングすることができます。また、4インチサンプルステージには直径1cmのSEM小スタブを50個以上搭載することができます。
交換可能なヘッドを備えた 1 つの機器でDC スパッタリングとカーボン ファイバー (スレッド) またはカーボン ロッド コーティング用に構成されています。全自動スパッタおよびカーボン コーティング プロセスにより、簡単かつ正確で繰り返し可能なパフォーマンスが実現します。
カーボンコーティングヘッド
カーボンコーティング用に交換可能なヘッドが装備されています。最大直径 0.8 mm のカーボンファイバーを 3 本装填できるため、EDX 用の大型サンプルにカーボン層をコーティングできます。
選択可能なオプション機能
【パルスカーボンファイバー蒸発】
パルスカーボンファイバー蒸発を装備できます。
短いパルスにより、堆積がより制御され、
従来のカーボン堆積に伴う破片の量が大幅に
削減されます。
【カーボンロッド蒸着（オプション）】
カーボンロッドヘッドを装備できます。
カーボンファイバーの蒸着用に設計された内部高電流電源の代わりに、外部の 0 ～ 100 A 高電流電源を使用する必要があります。※オプション
カラータッチスクリーンコントロール
自動制御とデータ入力を備えており真空およびコーティングシーケンス情報は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。
サンプルホルダー
ユーザーの要件に応じて、さまざまなカスタマイズされたサンプルホルダーを装備できます。
標準サンプル回転ホルダーは、回転可能で、高さと角度を調整でき、簡単に変更できます。
