デスクスパッタ・カーボンコーター(DSCR)
金 、パラジウム 、白金 、金/パラジウムなどの貴金属をスパッタリング
- 2段式直動ロータリーベーンポンプ6 m3 /h
- 1 nmの精度と1 Åの分解能を備えた水晶厚さモニター
- スパッタリング用80W DCスイッチング電源
- スパッタリングとカーボンコーティングの両方が可能な回転ポンプ式コーター
- 2年間の保証
- CE適合性
スパッタリング と カーボンコーティング
デスクスパッタ・カーボンコーター(DSCR)は、 スパッタリング と カーボンコーティングの両方が可能なコンパクトなコーティング システムです。
金 (Au)、パラジウム (Pd)、白金 (Pt)、金/パラジウム (Au/Pd) などの貴金属をスパッタリングできるほか、さまざまなカーボン ソース (ファイバーまたはロッド) を熱蒸着させて、電子顕微鏡画像やその他の用途で非導電性または導電性の低い表面を持つサンプルにコーティングすることができます。
DC スパッタリングとカーボン ファイバー (スレッド) またはカーボン ロッドのコーティング用に構成された、交換可能なヘッドを 1 つの装置にまとめた回転ポンプ式コーターです。
SEM サンプル準備用の多目的マシン
スパッタリング堆積と炭素蒸発は、走査型電子顕微鏡(SEM) サンプルの表面電気伝導率を高めてイメージング プロセス中の電荷の蓄積を防ぐためのサンプル準備の標準的なメカニズムであるため、SEM サンプル準備用の多目的マシンです。
全自動スパッタリングおよびカーボンコーティングプロセスにより、簡単かつ正確で繰り返し可能なパフォーマンスが実現します。DSCRには水冷式スパッタリングカソードを装備できるため、長時間の堆積に適しています。このモデルの基板の最大サイズは 4 インチです。
選択可能なオプション機能
【パルスカーボンファイバー蒸発】
パルスカーボンファイバー蒸発を装備できます。
短いパルスにより、堆積がより制御され、
従来のカーボン堆積に伴う破片の量が大幅に
削減されます。
【カーボンロッド蒸着（オプション）】
カーボンロッドヘッドを装備できます。
カーボンファイバーの蒸着用に設計された内部高電流電源の代わりに、外部の 0 ～ 100 A 高電流電源を使用する必要があります。※オプション
カラータッチスクリーンコントロール
自動制御とデータ入力を備えており真空およびコーティングシーケンス情報は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。
最後の300回のコーティングの情報も履歴ページに保存でき、USB ポートから PC に転送できます。
サンプルホルダー
ユーザーの要件に応じて、さまざまなカスタマイズされたサンプルホルダーを装備できます。
標準サンプルホルダーは、回転可能で、高さと角度を調整でき、簡単に変更できます。
プラネタリー サンプルホルダーは、多孔質試料の均一なコーティングに適しています。※オプション
新しい 4 インチ回転サンプルホルダーは、システム用に設計されており、堆積領域と実行時のコーティング スタブの数を増やします (最大 50 × 1 mm スタブにカスタマイズ可能) 。
標準サンプルホルダー プラネタリー サンプルホルダー 4インチ回転サンプルホルダー
