FS-1エリプソメーターを用いた半導体膜評価とin situ計測について
～FS-1と半導体膜評価事例のご紹介とユーザーの方によるin situ計測のご講演～

近年飛躍的に発達したエリプソメトリーの中でも「高精度な測定」を「簡便な操作」かつ「低コスト」を実現させた、FS-1 マルチスペクトルエリプソメーターと半導体膜の評価方法をご紹介いたします。
FS-1を使用してin situ計測をされている 国⽴研究開発法⼈　物質・材料研究機構　主任研究員　井村　将隆 先生 よりご講演いただきます。

※今回のウェビナーは、開催当日のみの LIVE 配信です。アーカイブ配信は行っておりません。

ウェビナーの詳細

開催日時（終了しました）

2022 年 2 月 16 日（水）10：00 ～ 10：45
　　
※参加費は無料です。是非この機会にご参加ください。
※ウェビナー配信サービスには【ZOOM（ウェビナー）】を利用いたします。